Termochillers para Equipamentos de Semicondutores

Termochillers

Termochillers para Equipamentos de Semicondutores

Controle térmico de altíssima precisão para processos críticos na fabricação de componentes eletrônicos.

A indústria de semicondutores exige um controle de temperatura extremamente rigoroso e estável para garantir a qualidade e a repetibilidade dos processos de fabricação. Nossos termochillers são projetados para oferecer a máxima precisão no resfriamento de equipamentos como 'etching', 'deposition' e 'lithography', assegurando a integridade dos componentes e a eficiância da produção.

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Especificações Técnicas

1 kW a 30 kW
Capacidade de Refrigeração
± 0.1°C
Estabilidade de Temperatura
-20°C a +90°C
Faixa de Temperatura

Requisitos do Processo

Litografia (Lithography)
Umidade:30% a 50% UR

Controle preciso da temperatura do 'wafer' e dos sistemas ópticos para garantir a definição exata dos padrões de circuito.

Deposição (Deposition/CVD)
Umidade:N/A

Manutenção de temperaturas estáveis para a deposição uniforme de filmes finos sobre o substrato de silício.

Desafios do Setor

Precisão e Estabilidade Térmica

Variações mínimas de temperatura podem comprometer a integridade dos circuitos, exigindo sistemas de refrigeração com altíssima estabilidade.

Contaminação e Limpeza

O ambiente de sala limpa exige equipamentos que não liberem partículas e que sejam compatíveis com os rigorosos padrões de limpeza.

Operação Contínua 24/7

A produção de semicondutores opera ininterruptamente, demandando equipamentos de refrigeração com máxima confiabilidade e redundância.

Nossas Soluções

Termochillers

Nossos termochillers oferecem controle de temperatura com precisão de ± 0.1°C, design compacto e materiais compatíveis com salas limpas, garantindo a estabilidade e a pureza necessárias para os processos de fabricação de semicondutores.

Ver Produto

Normas e Regulamentações

SEMI S2/S8 (Normas de segurança e ergonomia para equipamentos de semicondutores)
ISO 14644-1 (Classificação de limpeza do ar em salas limpas)
ABNT NBR ISO 9001 (Sistemas de gestão da qualidade)

Benefícios para seu Negócio

Aumento de até 15% no 'yield' (taxa de aproveitamento) dos wafers devido à estabilidade térmica superior.
Redução de 20% no consumo de energia em comparação com sistemas de refrigeração convencionais.
Garantia de 99.9% de 'uptime' do equipamento com sistemas de controle redundantes e monitoramento remoto.
Conformidade total com as normas para salas limpas ISO Classe 5 (ou superior).

Caso de Sucesso

Aumento de 12% no 'yield' de produção, redução de 95% nas paradas não programadas por falhas térmicas e um payback do investimento em 11 meses.

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